目前在各種真空鍍膜設(shè)備上所配用的真空系統(tǒng)不但結(jié)構(gòu)各不相同，而且系統(tǒng)的抽氣特性也隨其工作對(duì)象的不同而有很大的差別.歸納起來(lái)主要有如下幾種系統(tǒng):
(1)通用真空系統(tǒng) 系統(tǒng)的主泵是油擴(kuò)散泵，泵上方設(shè)有水冷擋板(阱)，主泵的前級(jí)泵為機(jī)械泵。這種系統(tǒng)的工作壓強(qiáng)在10-2~10-4pa的范圍內(nèi).
(2)超高真空系統(tǒng) 在上述真空系統(tǒng)中加裝液氮冷阱或鈦泵.就可以使鍍膜室真空度提高到10-6Pa以上.從而得到超高真空系統(tǒng).由于該系統(tǒng)仍采用油擴(kuò)散泵，所以還是有油的系統(tǒng)。
無(wú)油超高真空鍍膜機(jī)配備無(wú)油超高真空機(jī)組.CWD-500型配備的機(jī)組是三極式:以冷陰極濺射離子泵(JLP-400型)為主泵，鈦升華泵(ST-0.1型)為輔助泵.并以SP-40型分子篩吸附泵作為系統(tǒng)的粗抽泵。系統(tǒng)還帶有CT-200型內(nèi)裝式插板閥以及全套前級(jí)真空管路、烘烤裝置等.為使烘烤時(shí)便于排氣或快速抽氣.機(jī)組還可以用一套機(jī)械泵加吸附裝置作為輔助前級(jí)泵。機(jī)組的極限真空可達(dá)6.7×10-8 Pa,在1h內(nèi)可從大氣壓下抽到1×10-5Pa.
鍍膜機(jī)采用分子泵系統(tǒng)可以獲得十分清潔的真空.有利于膜質(zhì)量的提高。分子泵抽速很大，可以縮短工藝周期。譬如用1200L·s-1的分子泵在直徑500mm的普通式高真空鍍膜機(jī)上進(jìn)行抽空，從大氣抽到3×10-4Pa只需要18min，可見(jiàn)，其效果是顯著的.
(3)制冷機(jī)低溫泵系統(tǒng) 使用低溫泵抽氣系統(tǒng)的真空鍍膜設(shè)備具有一系列優(yōu)點(diǎn):無(wú)選擇性氣體、無(wú)碳?xì)浠衔镂廴?、具有較大的抽氣速率、可以獲得較低的極限壓力、操作簡(jiǎn)單、運(yùn)行維護(hù)方便.
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