超高真空系統(tǒng)用泵的選擇是重要的。表明超高真空泵應(yīng)靠提供高的抽速(低的Q/S)并且減小由泵到真空室的返流(小的Po)來降低壓強(qiáng)。這里，返流被定義為由泵到系統(tǒng)的任一種氣體流或蒸氣流。對(duì)超高真空系統(tǒng)來說，減少來自泵的污染的目的是同其它任何真空系統(tǒng)一樣的，只是超高真空系統(tǒng)中極限壓強(qiáng)和所容許的污染程度更低罷了。為了降低污染程度，必須嚴(yán)格遵守正確的抽氣步驟。變暖了的液氮冷阱只要在幾分忡內(nèi)就能將所冷凝的蒸氣返流到阱上方的清潔區(qū)域中去。雖然重新降溫會(huì)阻止進(jìn)一步污染，但事故中已擴(kuò)散到清潔區(qū)域內(nèi)的蒸氣是無法再除掉了。在高真空范圍內(nèi)是無關(guān)緊要的事故會(huì)破壞低壓強(qiáng)下所作的實(shí)驗(yàn)的真實(shí)性。每種類型的泵本身都具有它所特有的不能抽走而作為雜質(zhì)存在的氣體和蒸氣物質(zhì)。所以，一些泵和阱的聯(lián)合使用能在盡量減小返流的同時(shí)對(duì)所有的氣體都提供足移的抽速。擴(kuò)散泵常與鈦升華阱聯(lián)用，低溫冷凝泵和升華泵常與離子泵聯(lián)用，而渦輪分子泵常輔以升華器。一般來說，沒有兩類超高真空系統(tǒng)會(huì)采用相同的泵的組合方案。雖然可以買到商用抽氣系統(tǒng)，但對(duì)超高真空應(yīng)用來說，通常是按其特殊要求來進(jìn)行泵的設(shè)計(jì)和選擇的。至今，在選擇超高真空泵時(shí)仍保留了靠“優(yōu)選”解決的簡單技藝。
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