油擴(kuò)散泵又稱油增壓泵,它是從油擴(kuò)散泵發(fā)展而來的。油擴(kuò)散噴射泵的工作壓力范圍為10~10-2pa,在此工作壓力范圍內(nèi)油擴(kuò)散噴射泵有較高的抽速和最大出口壓力。通常油擴(kuò)散噴射泵要比油擴(kuò)散泵的抽氣量高4~20倍,加熱功率高2~5倍。按其工作壓力范圍來說,油擴(kuò)散噴射泵正好填補(bǔ)了油封式機(jī)械泵和高真空油擴(kuò)散泵抽氣能力下降的中間地帶。油封式機(jī)械泵的抽速在低壓力范圍有明顯的降低,在10-1pa時(shí)實(shí)際上抽速幾乎為零;而大多數(shù)的高真空油擴(kuò)散泵在這樣的壓力范圍內(nèi)抽速也較小。然而在1~10-1pa的工作壓力范圍內(nèi),油擴(kuò)散噴射泵恰好具有較大的抽速。因此,油擴(kuò)散噴射泵除用作主泵外,還可以用到大型油擴(kuò)散泵的出口處,來增加其出口壓力,使前級機(jī)械泵能有效地工作,故稱其為油增壓泵。油擴(kuò)散噴射泵與油擴(kuò)散泵相比,不同點(diǎn)僅在于性能曲線的有效工作范圍不同而已。雖然兩者的結(jié)構(gòu)和應(yīng)用有所不同,但抽氣的基本原理沒有多大的區(qū)別。
油擴(kuò)散噴射泵目前廣泛用于真空感應(yīng)爐和真空電弧爐、電容器的真空干燥和浸漬、真空蒸餾等設(shè)備上。對泵來說,無論是在高入口壓力下工作還是低入口壓力下工作,即在整個(gè)工作壓力范圍內(nèi)工作,都應(yīng)該有足夠高的抽速。當(dāng)然,這樣的蒸汽射流狀態(tài),對于泵單獨(dú)在高壓力下或在低壓力下工作,性能就不可能是最佳的了,只能是對泵的整個(gè)工作范圍來說是最佳的。在給定的工作壓力范圍內(nèi),泵也只能在某一壓力下有抽速最大值。
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